氢气检漏法的基本原理

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156国际标准)，无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。

氢的分子量与氦气相近，是所有化学元素中分子量较轻的元素，有很好的扩散性，逃逸性很强，吸附及粘滞性很低。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器，它只对氢气有响应信号，而对其他气体没有响应，属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应，说明有氢气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。同时，由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低，所以不会因本底污染而导致误报警。

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真空设备检漏

听音法

气体从小孔中喷出时，会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。

该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。氢的分子量与氦气相近，是所有化学元素中分子量轻的元素，有很好的扩散性，逃逸性很强，吸附及粘滞性很低。若工厂噪音较大，则小的声音就不易听清。使用听诊qi，某种程度上可以消除周围噪音的影响，听清泄漏声音，但有时与泄漏无关的声音（例如电机的声音）也会混杂进来，从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音，可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大，多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3MPa，周围非常安静的条件下，可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。

这种方法既简单、经济。使用听诊qi，在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听，往往因声波的反射或吸收，很难确定泄漏点，即发声地点。由于检测环境条件不同，所得到的结果可能偏差很大。因此，这种方法的稳定性和可靠性很差。应与其它检测法并用。

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设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，

其测量工作原理如下。(2)示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置，可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气，

封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。氢气检漏法的主要设备(1)检漏仪：采用上述工作原理制造的专用氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。